用于沉积,刻蚀加工的配件

简介:

钱柜®开发的专利UPMSTM提纯技术,能最大限度地提纯材料。 半导体材料和镀膜材料的纯度可以达到5N。


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钱柜®开发的专利UPMSTM提纯技术,最大限度地提纯材料。 半导体材料和镀膜材料的纯度可以达到5N。 以下半导体蚀刻组件可与UPMSTM提纯技术一起使用:

 

  •                   CCP Shower Head
  •                   ICP Window
  •                   ICP Nozzle
  •                   TSV Window
  •                   Focus ring
  •                   Edge ring
  •                   Cover ring
  •                   Chamber linea
  •                   Shield
  •                   Dome
  •                   Gas Distribution Plates
  •                   3D-Nand target

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